(1)對于泄漏氣體密度小于空氣密度的介質(zhì)，應(yīng)將報警器安裝在泄漏點(diǎn)上；
(2)依據(jù)現(xiàn)場氣流方向、風(fēng)向等具體因素，判斷當(dāng)發(fā)生大量氣體泄漏時，可燃?xì)怏w的流動方向。
(3)現(xiàn)場確定泄漏點(diǎn)的位置，分析泄漏點(diǎn)的泄漏壓力、方向等因素，標(biāo)出氣體探測器位置分布圖，便于以后安裝；
(4)研究泄漏點(diǎn)的泄漏狀態(tài)是微漏還是噴射狀。如果是微漏，則安裝位置就要靠近泄漏點(diǎn)一些。如果是噴射狀泄漏，則要稍遠(yuǎn)離泄漏點(diǎn)。綜合這些狀況，擬定出蕞終設(shè)點(diǎn)方案。
(5)依據(jù)泄漏氣體的密度(大于或小于空氣)，結(jié)合空氣流動趨勢，從而確定下游位置作出初始設(shè)點(diǎn)方；
(6)對于存在較大可燃?xì)怏w泄漏的場所，根據(jù)有關(guān)規(guī)定每相距10—20m應(yīng)設(shè)一個檢測點(diǎn)。對于無人值班的小型且不連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的泵房，需要注意發(fā)生可燃?xì)怏w泄漏的可能性；
(7)對于開放式可燃?xì)怏w擴(kuò)散逸出環(huán)境，如果缺乏良好的通風(fēng)條件，也很容易使某個部位的空氣中的可燃?xì)怏w含量接近或達(dá)到爆i炸下限濃度，這些地方是不可忽視的安全監(jiān)測點(diǎn) ；
(8)對于氣體密度大于空氣的介質(zhì)，應(yīng)將檢測器安裝在低于泄漏點(diǎn)的下方平面上，并注意周圍環(huán)境特點(diǎn)。對于容易積聚可燃?xì)怏w的場所應(yīng)特別注意安全監(jiān)測點(diǎn)的設(shè)定。
高純氣體管道配管
所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到工藝對氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。
管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。
1988年以前，我國的用氧都是由制氧廠采用深冷法分離空氣按照《工業(yè)用氣態(tài)氧》標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)的工業(yè)用氧氣。隨著我國衛(wèi)生事業(yè)的日益發(fā)展和人民健康水平的不斷提高，對氧氣的質(zhì)量要求在不斷提高，繼續(xù)把含有游離水、鹵素等對人體有害雜質(zhì)的工業(yè)用氧氣用于和保健，顯然已不符合人體健康要求。為此，1988年4月12日，國家標(biāo)準(zhǔn)總局頒布了GB 8982-1988《氧氣》國家標(biāo)準(zhǔn)，并于同年12月1日開始實(shí)施。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氧氣氧含量≥99.5%，同時對水份、二氧化碳、1氧化碳、氣態(tài)酸和堿、臭氧和其他氣態(tài)化合物含量及氣味作了規(guī)定。
氧氣和工業(yè)氧氣的區(qū)別在于對氧氣中水分的控制。我們生活中常常有這樣的經(jīng)驗，經(jīng)表面光潔，沒有生銹的鐵放在露天很長時間也不會生銹，可是一場大雨過后就會銹跡斑斑。這是因為氧氣在有水存在下的時候才會使大量的鐵分子氧化。并且鐵氧化后不僅會有鐵銹還有氫氣等其他對人體有害的氣體被排出。鐵被氧化后形成鐵銹，鐵銹很疏松，很容易形成小顆粒混入氧氣中。被吸入，從而引起等呼吸道的損傷。所以氧氣生產(chǎn)上大程度的降低氧氣中的水分含量是極其重要的。
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